ASTM F 374a-2000 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层薄膜电阻的标准试验方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-17 02:18:23 浏览:9609
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforSheetResistanceofSiliconEpitaxial,Diffused,Polysilicon,andIon-implantedLayersUsinganIn-LineFour-PointProbewiththeSingle-ConfigurationProcedure
【原文标准名称】:用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层薄膜电阻的标准试验方法
【标准号】:ASTMF374a-2000
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2000
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;试验;层
【英文主题词】:testing;silicon;layers
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:16P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层薄膜电阻的标准试验方法
【标准号】:ASTMF374a-2000
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2000
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:硅;试验;层
【英文主题词】:testing;silicon;layers
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:16P;A4
【正文语种】:英语
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