NF C96-050-5-2012 半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
作者:标准资料网 时间:2024-05-02 18:49:13 浏览:8513
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【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part5:RFMEMSswitches.
【原文标准名称】:半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
【标准号】:NFC96-050-5-2012
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2012-05-01
【实施或试行日期】:2012-05-04
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:应用程序;特征;元部件;定义(术语);电气工程;高频;层;材料;测量;测量技术;微电子学;微系统工艺;特性;半导体器件;开关;系统工程;试验;试验条件
【英文主题词】:Applications;Characteristics;Components;Definitions;Electricalengineering;Highfrequencies;Layers;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Semiconductordevices;Switches;Systemengineering;Testing;Testingconditions
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:39P;A4
【正文语种】:其他
【原文标准名称】:半导体器件.微电机装置.第5部分:射频(RF)微电子机械系统(MEMS)开关
【标准号】:NFC96-050-5-2012
【标准状态】:现行
【国别】:法国
【发布日期】:2012-05-01
【实施或试行日期】:2012-05-04
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:应用程序;特征;元部件;定义(术语);电气工程;高频;层;材料;测量;测量技术;微电子学;微系统工艺;特性;半导体器件;开关;系统工程;试验;试验条件
【英文主题词】:Applications;Characteristics;Components;Definitions;Electricalengineering;Highfrequencies;Layers;Materials;Measurement;Measuringtechniques;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Semiconductordevices;Switches;Systemengineering;Testing;Testingconditions
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:39P;A4
【正文语种】:其他
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